
在玻璃退火过程中实现精确控温
普通的红外灯其实是一种“一刀切”的解决方案。它们提供的加热曲线是固定的,如果只是进行简单的加工任务,那倒也够用。但若是用于研发工作的话,那就麻烦了。
当你在研究新的玻璃配方或薄膜涂层时,误差的后果可是相当严重的。如果温度上升不均匀或加热不充分,样品不仅会失效,还可能破裂。这无疑会浪费大量的时间和材料。
我们的做法则有所不同。我们不会提供通用的红外灯,而是根据实际需求来调整整个加热区域的功率密度。这样,你就可以完全掌控各个参数了。
通用型红外灯的弊端
大多数红外灯都有一个问题:中间部分的温度很高,而两端则相对较低。在实验室里,这种温度梯度会破坏实验数据。实际上,你测试的并不是材料本身的性能,而是加热器的缺陷。为了解决这个问题,我们会调整灯丝的缠绕方式以及功率设定,从而让温度曲线更加平坦,或者创造出特定的温度区域。
通过精确控制每平方厘米所接收的功率,你就可以在实验室里模拟出与工业生产中相同的冷却曲线。
平衡之道
不过,你不能无限增加功率。如果将过多的热量集中到一个小空间内,就会给石英外壳带来巨大的压力。如果你需要极高的热量来进行快速退火处理,那就必须格外小心。要确保反射器保持清洁,同时也要调整好空气流动情况。如果灯的末端无法散热,灯丝就会过早烧坏。我们会花费大量时间来调整电压和功率,从而让你的材料达到目标温度,同时避免损坏灯本身。
停止猜测,开始精确控制
定制化的红外灯可以让你可以精确控制各种变量。也许你需要调整功率来弥补小尺寸晶圆边缘的散热问题。又或者你需要分阶段的加热曲线。无论是什么情况,这种方法都能让你不再依赖猜测,从而更准确地控制加热过程。
你的热源应该完全按照模型预测的方式工作,不会有任何意外情况,也不会出现奇怪的结果。
不要再使用那些通用的加热器了。只要告诉我们你的材料所需的精确能量分布,我们就会为你打造出理想的加热系统。